高真空角（L 形）閥，用于防止泵在過(guò)載時(shí)運(yùn)行。

[功能]

·初始排氣閥和主排氣閥一體化（兩段式流量控制閥）

? 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)緊湊化和節(jié)省配管? 排氣時(shí)防止灰塵在腔室內(nèi)卷起

? 初始排氣閥流量可調(diào)

? 氣動(dòng)型/帶電磁閥

? 由于排氣量少，因此泵容量小，可縮短排氣時(shí)間

? 不含Ni（鎳）和Cr（鉻）等重金屬，濺射率低，因此晶圓上的重金屬污染很少

? 強(qiáng)氟

·均勻的烘烤溫度。導(dǎo)熱性好，全身溫度均勻，大大降低產(chǎn)品粘附性重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊

類型氣動(dòng)真空閥 應(yīng)用一次性使用

安裝方向直接 端口數(shù)2 通閥

開關(guān)類型2 位常閉 管口類型法蘭

法蘭類型欽哲基金會(huì) 法蘭公稱40

密封類型波紋管密封 Sonic Speed Conductance45 升/秒

引燃港方向翼緣面，左 溫度范圍（°C）5 至 60

開關(guān)部件號(hào)無(wú)自動(dòng)切換（帶內(nèi)置磁鐵） 開關(guān)數(shù)量無(wú)開關(guān)

密封材料FKM 1349-80 泄漏量（Pa·m3/s）內(nèi)部：1.3 × 10-10，外部：1.3 × 10-11

體表處理外部： 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁， 內(nèi)部： 基材 密封更換位置沒(méi)有

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2024/12/17