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（SAKAGUCHI坂口電熱）（NIPPON MUKI日本無機(jī)）（SUIDEN瑞電）（IMAO今尾）（SGK昭和技研）
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電商MRO供應(yīng)鏈德國(guó)optrisc歐普士單體CSmicro在西門子工藝中使用紅外測(cè)溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
日期：2025-05-02 20:15
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摘要：在西門子工藝中使用紅外測(cè)溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
硅的發(fā)射率隨溫度、波長(zhǎng)和表面特性的變化而變化，從而在不同光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生復(fù)雜的動(dòng)態(tài)行為。為了可靠地測(cè)量硅的溫度，建議使用 1 μm 左右的短紅外波長(zhǎng)，因?yàn)樵谶@種波長(zhǎng)下，盡管溫度發(fā)生變化，硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測(cè)溫儀具有優(yōu)勢(shì)，因?yàn)樗鼈儾恍枰畛湔麄€(gè)視場(chǎng)來測(cè)量棒溫。當(dāng)存在氫氣時(shí)，雙色測(cè)溫儀可與防爆外殼一起使用。
光纖 CTratio 雙色測(cè)溫儀可有效測(cè)量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測(cè)溫儀結(jié)構(gòu)緊湊，配備有柔性光纖，可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設(shè)計(jì)...
在西門子工藝中使用紅外測(cè)溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
硅的發(fā)射率隨溫度、波長(zhǎng)和表面特性的變化而變化，從而在不同光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生復(fù)雜的動(dòng)態(tài)行為。為了可靠地測(cè)量硅的溫度，建議使用 1 μm 左右的短紅外波長(zhǎng)，因?yàn)樵谶@種波長(zhǎng)下，盡管溫度發(fā)生變化，硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測(cè)溫儀具有優(yōu)勢(shì)，因?yàn)樗鼈儾恍枰畛湔麄€(gè)視場(chǎng)來測(cè)量棒溫。當(dāng)存在氫氣時(shí)，雙色測(cè)溫儀可與防爆外殼一起使用。
光纖 CTratio 雙色測(cè)溫儀可有效測(cè)量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測(cè)溫儀結(jié)構(gòu)緊湊，配備有柔性光纖，可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設(shè)計(jì)可承受惡劣的工作條件，包括高溫、振動(dòng)和化學(xué)接觸。比色技術(shù)通過比較兩種不同波長(zhǎng)光的強(qiáng)度來提供**的溫度測(cè)量，從而減少因發(fā)射率變化、光學(xué)干擾或光路阻尼等因素造成的誤差。
不過，有些設(shè)備還是傾向于使用單色測(cè)溫儀，因?yàn)閱紊珳y(cè)溫儀只測(cè)量單一波長(zhǎng)，可能會(huì)受到發(fā)射率變化的影響。他們追求的是西門子過程的可重復(fù)性，而不是**的溫度。然而，在雙色裝置中，智能比率模式可以讓測(cè)溫儀了解發(fā)射率或比率的變化，即使兩個(gè)波長(zhǎng)的發(fā)射率變化不一致，也能確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
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豐田(TOYOTA)，SUZUKI(鈴木)，比亞迪(BYD),大疆(DI)，艾華集團(tuán)(AISHI)，駿馬精密(ZAMA)三一重工(SANY),中聯(lián)重科(ZOOMLION)
住友集團(tuán)（sumitomo），華為（Huawei）徐工集團(tuán)，大長(zhǎng)江集團(tuán)，揚(yáng)力集團(tuán)，太陽(yáng)誘電，華天科技，大冶摩托，正泰集團(tuán)，
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2025/4/24
