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日期:2025-05-02 11:04
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摘要:紅外成像揭示晶圓上的光刻膠殘留物 紅外熱像儀是實(shí)現(xiàn)這一目的的高效工具,因?yàn)樗鼈兛梢允惯@些顆粒、缺陷或殘留物可見(jiàn)。 紅外熱像儀通過(guò)檢測(cè)物體的熱輻射來(lái)工作。由于所用殘留物和化學(xué)清潔劑的輻射行為不同,紅外熱像儀可捕捉到在可見(jiàn)光譜范圍內(nèi)無(wú)法檢測(cè)到的熱對(duì)比度。這種熱對(duì)比度突出顯示了有殘留物或污染物的區(qū)域,從而可以進(jìn)行**識(shí)別和有針對(duì)性的清潔。高分辨率紅外熱像儀至關(guān)重要,因?yàn)樗梢蕴峁┰敿?xì)的成像來(lái)檢測(cè)晶圓上*小的殘留物和污染物。高分辨率增強(qiáng)了紅外熱像儀捕捉精細(xì)細(xì)節(jié)的能力,使其能夠識(shí)別低分辨率紅外熱像儀可能遺漏...
紅外成像揭示晶圓上的光刻膠殘留物
紅外熱像儀是實(shí)現(xiàn)這一目的的高效工具,因?yàn)樗鼈兛梢允惯@些顆粒、缺陷或殘留物可見(jiàn)。
紅外熱像儀通過(guò)檢測(cè)物體的熱輻射來(lái)工作。由于所用殘留物和化學(xué)清潔劑的輻射行為不同,紅外熱像儀可捕捉到在可見(jiàn)光譜范圍內(nèi)無(wú)法檢測(cè)到的熱對(duì)比度。這種熱對(duì)比度突出顯示了有殘留物或污染物的區(qū)域,從而可以進(jìn)行**識(shí)別和有針對(duì)性的清潔。高分辨率紅外熱像儀至關(guān)重要,因?yàn)樗梢蕴峁┰敿?xì)的成像來(lái)檢測(cè)晶圓上*小的殘留物和污染物。高分辨率增強(qiáng)了紅外熱像儀捕捉精細(xì)細(xì)節(jié)的能力,使其能夠識(shí)別低分辨率紅外熱像儀可能遺漏的微小顆粒。
Pi 640 紅外熱像儀是一款高性能熱成像設(shè)備,以其出色的分辨率和精度而聞名。它具有 640 x 480 像素的分辨率,可提供詳細(xì)的熱圖像,這對(duì)于需要檢測(cè)小熱異常的應(yīng)用至關(guān)重要。其先進(jìn)的 PIX Connect 軟件和堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其成為可靠的集成工具。 PI 系列采用緊湊設(shè)計(jì),即使在狹小空間內(nèi)也可以輕松集成??蛻艨梢詮母鞣N光學(xué)元件中進(jìn)行選擇,例如 60° 鏡頭,它非常適合覆蓋整個(gè)反應(yīng)室并有效監(jiān)控所有基質(zhì)。

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2025/4/27

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