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下載文件詳細(xì)資料
  文件名稱(chēng): 【電商】MRO供應(yīng)鏈提供SAKAGUCHI坂口電熱激光平面瞬時(shí)加熱裝置EXL-CT-010-DS55EXL-CT-010-DS55
  公司名稱(chēng): 深圳電商商業(yè)股份有限公司
  下載次數(shù): 64
  文件詳細(xì)說(shuō)明:
 

ExLASER® 是一種多功能激光平面瞬時(shí)加熱裝置。

長(zhǎng)處

  • 可以超快速的溫度上升和下降。
  • 一次均勻加熱 2 英寸基板
  • 直接加熱只能用于被加熱的物體。
  • 可根據(jù)工藝進(jìn)行溫度控制
  • 節(jié)能而不加熱大氣


  • MBE 設(shè)備的基板加熱
  • 晶圓退火(SiC、GaAS 等)
  • 可對(duì)多層器件進(jìn)行表面退火(與小型化器件兼容)


成就示例


日本原子能機(jī)構(gòu) 日本
激光功率:100W
尺寸:H251×W200×D253 (mm)





激光加熱實(shí)驗(yàn)

使用 EXL-CT-010DS55,對(duì)安裝在真空室中的樣品進(jìn)行激光加熱。 從樣品的背面(與激光照射表面相反)測(cè)量溫度分布。

1. 藍(lán)寶石襯底(φ2英寸) --- 應(yīng)用于透明襯底


溫度分布藍(lán)寶石襯底的溫度
分布
(激光功率:1000W)



藍(lán)寶石
襯底的快速升溫和降落(平均襯底溫度)(
激光功率:1000W)


2. 溫度傾斜---組合光學(xué)的使用


溫度分布金屬板的溫度
分布
(激光功率:86W 焦點(diǎn))



溫度傾斜圖 金屬板的溫度
斜率



標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

型號(hào) EXL-CT-010-DS55
激光照射方法 直接型 體型 高 625 毫米 × 寬 700 毫米 × 深 320 毫米
激光功率 高達(dá) 1kW 附屬品 專(zhuān)用冷水機(jī)組
激光波長(zhǎng) 808 納米 額定 機(jī)身:1P200V20A
冷水機(jī):1P200V15A
激光幾何形狀 廣場(chǎng)
光學(xué)元件(均勻性) 均質(zhì)器 (±5%) 言論 JST Originality 建模
和開(kāi)發(fā)產(chǎn)品 (FY17)
加熱區(qū) □ 55 毫米
工作距離 400 毫米~

* 以上為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。 可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行更改。




選項(xiàng) * 我們將根據(jù)您的要求制造


  • 真空室
  • 溫度控制單元
    ?輻射溫度計(jì)
    ?數(shù)字指示器控制器
    ?紅外線透射窗
  • PCB 支架(用于 2 英寸板)
  • 用于組合專(zhuān)用基板支架的光學(xué)系統(tǒng)(兼容 □10mm 板)
  • 各種襯底(藍(lán)寶石、硅、GaAs 等)







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2024/09/26


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