形狀図

構(gòu)造

夾緊型

MOP-C MOP-C

材質(zhì)、表面處理

	MOP-C
軸套	A2017
間隔體	PEEK（聚醚醚酮）
內(nèi)六角圓柱頭螺栓	SUSXM7

PEEK的顏色可能會(huì)因批次等而變化。

特點(diǎn)

• 特性

	MOP-C
低塵	△
適用于真空環(huán)境	◎
低排氣	○
耐熱	◎
耐藥性	○
容許誤差調(diào)整	◎
電絕緣性	◎
無(wú)塵	◎
可使用溫度	-20℃～120℃

◎：特優(yōu)　○：優(yōu)
△：可能產(chǎn)生磨屑

• 十字滑塊型撓性聯(lián)軸器。
• 已完成無(wú)塵洗凈、無(wú)塵包裝?？稍贔PD生產(chǎn)設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備等需要的耐熱、耐藥品性環(huán)境或無(wú)塵室中使用。
• 間隔體采用PEEK。耐熱性、耐藥品性優(yōu)異，排氣量極少。
• 通過軸套與間隔體的滑移，允許有偏心、偏角存在。
• 因誤差調(diào)整量而產(chǎn)生的軸載荷變小，減輕了軸的負(fù)擔(dān)。

用途

FPD生產(chǎn)設(shè)備/半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

使用注意事項(xiàng)

安裝到D型切口軸時(shí)，請(qǐng)注意軸的D型切口面的位置。?偏差調(diào)整
備有內(nèi)六角螺栓可從聯(lián)軸器的外徑伸出、旋轉(zhuǎn)直徑大于外徑的規(guī)格。請(qǐng)注意聯(lián)軸器的干渉。旋轉(zhuǎn)直徑

PEEK的耐化學(xué)藥品性

藥品名稱	PEEK
10％鹽酸	○
10％硫酸	○
50%硫酸	×
10％硝酸	○
50%硝酸	×
50%氫氟酸	×
10％磷酸	○
甲酸	△
10％醋酸	○
檸檬酸	○
鉻酸	○
硼酸	○
甲醇	○
乙二醇	○
氨	○
10％氫氧化鈉	○
10％氫氧化鉀	○
氫氧化鈣	○
硫化氫（氣體）	○
二氧化硫	○
硝酸*	○
硝酸鈉	○
碳酸鈣	○
氯化鈣	○
氯化鎂	○
硫酸鎂	○
硫酸鋅	○
過氧化氫	○

○：可使用　△：可根據(jù)條件使用　×：不可使用
使用試驗(yàn)片，在室溫（23℃）下測(cè)試后得到的數(shù)據(jù)。
耐藥品性會(huì)根據(jù)使用條件而變化。請(qǐng)務(wù)必事先在與實(shí)際情況相同的使用條件下進(jìn)行試驗(yàn)。

排氣的分析

單位 : （v/v ppm）

成分		含量
無(wú)機(jī)氣體	氫	500以下
	一氧化碳	500以下
	二氧化碳	500以下
有機(jī)氣體	甲烷	5以下
	乙烷	5以下
	乙烯	5以下
	丙烷	5以下
	乙炔	5以下
	i-丁烷	5以下
	n-丁烷	5以下
	丙烯	5以下

無(wú)機(jī)氣體、有機(jī)氣體均在定量下限以下，無(wú)法檢測(cè)。

• 測(cè)量方法
  無(wú)機(jī)氣體----氣相色譜法（TCD）
  有機(jī)氣體----氣相色譜法（FID）
• 測(cè)量條件
  加熱溫度----100℃

型號(hào)列表

MOP-20C

• MOP-20C-5-5
 
• MOP-20C-5-6
 
• MOP-20C-5-8
 
• MOP-20C-6-6
 
• MOP-20C-6-8
 
• MOP-20C-8-8

MOP-25C

• MOP-25C-8-8
 
• MOP-25C-8-10
 
• MOP-25C-10-10

MOP-32C

• MOP-32C-10-10
 
• MOP-32C-10-11
 
• MOP-32C-10-12
 
• MOP-32C-10-14
 
• MOP-32C-11-11
 
• MOP-32C-11-12
 
• MOP-32C-11-14
 
• MOP-32C-12-12
 
• MOP-32C-12-14
 
• MOP-32C-14-14