產(chǎn)品目錄
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
專線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動(dòng)吸引式
應(yīng)用行業(yè)
半導(dǎo)體制造
01.產(chǎn)品特點(diǎn)
· 小型·輕量
· 可以檢查非常微量的氣體泄漏
· 適合氫氣相關(guān)設(shè)備的**防護(hù)
· 搭載的泵有自動(dòng)停止功能
· 搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能
· 保護(hù)等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時(shí)
02.產(chǎn)品用途
· 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
· 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測
03.產(chǎn)品參數(shù)
