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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
用于
IPA、純水和化學(xué)品等半導(dǎo)體制造過程中微小區(qū)域的流量控制 ? *小流量測量從 1 ml/min 開始 ?通過數(shù)字信號(hào)處理高精度測量微小流量 ?傳感器部分具有與流體
的非接觸式結(jié)構(gòu) ?范圍廣的能力
IPA、純水和化學(xué)品等半導(dǎo)體制造過程中微小區(qū)域的流量控制 ? *小流量測量從 1 ml/min 開始 ?通過數(shù)字信號(hào)處理高精度測量微小流量 ?傳感器部分具有與流體
的非接觸式結(jié)構(gòu) ?范圍廣的能力
產(chǎn)品規(guī)格
■微型液體流量計(jì)（傳感器分離型）
μLF-300S
| 型 | μLF-300S + μLT-8I （1/8 英寸） 或 μLF-300S + μLT-4I （1/4 英寸） |
| 測量原理 | 超聲波傳播時(shí)差法 |
| 被測液體 |
純水，水溶液，各種化學(xué)溶液 *請?zhí)崆皺z查水以外的液體。 |
| 自適應(yīng)流體溫度范圍 |
在15°C~80°C*60°C 或更高溫度下使用時(shí)，請?zhí)崆按_認(rèn)。 |
| 流體壓力 | 0.5MPa以下 |
| 流體運(yùn)動(dòng)粘度 | 100毫米^2/秒以下 |
| 流量范圍 |
0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 （μLF-300S + μLT-8I） 0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 （μLF-300S + μLT-8I） |
| 測量精度 |
±0.5%RD（1/8英寸：200~1000毫升/分鐘條件：室溫，恒溫水）±1毫升/分鐘（1/8英寸：0~199毫升/分鐘） ±0.5%RD（1/4英寸：800~4000毫升/分鐘條件：室溫，恒溫水） ±4毫升/分鐘（1/4英寸：0~ 799毫升/分鐘） |
| 重復(fù)性 | ±0.2%（純凈，液體溫度±0.5°C，30秒平均值） |
| 權(quán)力 | 直流 24V ±10% |
| 功耗 | 3.6W以下 |
| 重量 | 發(fā)射器 240g，探測器 70g |
| 尺寸寬x高x深（毫米） |
發(fā)射器 97 x 49 x 127 探測器 90 x 25 x 20 （不含管） |
| 探測器 | |
| 管材 | PFA（含氟聚合物） |
| 管徑 | 1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米 |
| 結(jié)構(gòu) | 相當(dāng)于 IP65 |
| 隨附的電纜 | 5m，連接器連接 |
| 輸入部分 | |
| 數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422，4 線 RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA （瞬時(shí)流量），負(fù)載電阻500Ω以下 |
| 集成脈沖輸出 | 1通道（集電極開路） |
| アラーム出力 | 1ch (オープンコレクタ) |
| 接點(diǎn)入力 | 1ch (ゼロ流量設(shè)定又は積算クリア) |
| キー入力 | 4入力ボタン |
■微少液體流量計(jì)（一體型）
μLF-300
| 変換器 | |
| 型式 | μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch) |
| 測定原理 | 超音波伝播時(shí)間差方式 |
| 被測定液體 |
純水、水溶液、各種薬液 * 水以外の液體の場合は事前にご確認(rèn)ください |
| 適応流體溫度範(fàn)囲 |
10℃～60℃ * 60℃以上の場合は事前にご確認(rèn)ください |
| 環(huán)境溫度範(fàn)囲 | 溫度：0℃～50℃(結(jié)露がないこと） |
| 流量範(fàn)囲 |
0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I) 0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I) |
| 測定精度 |
±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室溫, 水の場合) ±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) ±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室溫, 水の場合) ±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
| 繰返し性 | ±0.2% (液溫±0.5℃, 30秒平均値) |
| 応答性 | 10 msec |
| 構(gòu)造 | 屋內(nèi)仕様 (IP65相當(dāng)) |
| 電源 | DC 5V ±10% |
| 消費(fèi)電力 | 1.5W以下 |
| 重量 | 350g（**主機(jī)） |
| 探測器 | |
| 管材 | PFA（含氟聚合物） |
| 管徑 |
1/8英寸外徑：3.17毫米，內(nèi)徑：2.17毫米 1/4英寸外徑：6.35毫米，內(nèi)徑：4.35毫米 |
| 輸出部分 | |
| 串行 | 4線RS-422 |
| 通信協(xié)議 | 固定數(shù)據(jù)位 8 位，固定偶數(shù)奇偶校驗(yàn)，固定停止位 1 位 |
| 波特率 | 38400波特 |
| 串行輸出內(nèi)容 | 瞬時(shí)流量值、積分流量值、錯(cuò)誤代碼 |
